半導體廢氣處理工藝及設備有哪些
探討半導體廢氣處理方法，告訴你半導體廢氣處理工藝及設備有哪些。
半導體廢氣處理是半導體行業(yè)必不可少的重要環(huán)節(jié)，它是指將半導體工業(yè)廢氣中的有害物質(zhì)進行清除，以達到環(huán)保要求的過程。處理半導體廢氣的要求主要要求如下：
（1）廢氣中有害物質(zhì)的濃度必須低于環(huán)保標準；
（2）廢氣中的有害物質(zhì)種類必須少于現(xiàn)有的環(huán)保標準；
（3）廢氣中有害物質(zhì)的實際濃度必須低于環(huán)保標準。
常用的半導體廢氣處理方法主要有：
（1）過濾法：過濾法通常是指將廢氣中的有害物質(zhì)通過過濾器濾除，其原理是將廢氣中的有害物質(zhì)過濾掉；
（2）吸附法：吸附法通常是指將廢氣中的有害物質(zhì)通過吸附劑吸附，其原理是將廢氣中的有害物質(zhì)與吸附劑結合；
（3）催化法：催化法通常是指將廢氣中的有害物質(zhì)通過催化劑催化，其原理是將廢氣中的有害物質(zhì)與催化劑反應，使其轉化為無害的物質(zhì)；
（4）光催化法：光催化法通常是指將廢氣中的有害物質(zhì)通過光催化劑催化，其原理是將廢氣中的有害物質(zhì)與光催化劑反應，使其轉化為無害的物質(zhì)；
（5）脫附法：脫附法通常是指將廢氣中的有害物質(zhì)通過脫附劑脫附，其原理是將廢氣中的有害物質(zhì)與脫附劑結合，使其脫附出來。
半導體廢氣處理設備主要有：
（1）過濾器：過濾器是用來過濾廢氣中有害物質(zhì)的設備；
（2）吸附塔：吸附塔是用來將廢氣中的有害物質(zhì)吸附的設備；
（3）催化器：催化器是用來將廢氣中的有害物質(zhì)催化的設備；
（4）光催化器：光催化器是用來將廢氣中的有害物質(zhì)光催化的設備；
（5）脫附塔：脫附塔是用來將廢氣中的有害物質(zhì)脫附的設備。
以上就是有關半導體工藝廢氣處理的基本原理、處理要求、常用處理方法及處理設備等內(nèi)容，有效的半導體廢氣處理有助于提升半導體行業(yè)的環(huán)保水平，保護環(huán)境。
作為源頭工業(yè)廢氣處理方案及設備供應商，韻藍環(huán)保主營RCO催化燃燒設備、RTO焚燒設備、活性炭吸附設備、噴淋塔、光氧催化設備、等離子設備、除塵設備等。廣泛應用于電子、噴涂、印刷、橡塑、化工、制藥、新能源、新材料等眾多行業(yè)。韻藍是工業(yè)廢氣處理10年老廠，近2000平生產(chǎn)車間，近1000家落地案例，價格公道，質(zhì)量過硬，為您一站式解決廢氣排放問題，免費設計方案，助力環(huán)評達標！
